瑞萨开发可在32纳米以上工艺片实现SRAM技术

时间:2007-6-30来源:赛迪网 页面功能 【字体:大 中 小】【我来说两句】【查看对此快讯的评论】 近日,瑞萨科技(Renesas Technology Corp.)宣布,开发出一种可在32纳米及以上工艺有效实现SRAM的技术,以用于集成在微处理器或SoC(系统级芯片)的片上SRAM中。 新开发的技术采用SOI(绝缘硅)技术,可独立控制基体电位,也就是构成SRAM的晶体管的三种衬底部分,从而显著扩展SRAM的运行容限。 对采用这一技术的65纳米 CMOS工艺的2Mb SRAM实验制造和评估证实,与没有使用该技术的器件相比,工作下限电压可提高大约100mV。此外,读取容限——SRAM运行容限指标——可改善大约16%,写入容限的改善大约为20%,同时晶体管的电气特性变化可有大约19%的下降。 SNM可随工艺的优化而下降。不过,在32纳米和22纳米工艺仿真方面,已证实与没有采用这一技术的器件相比,32 纳米 SNM大约改善了27%,22纳米大约为49%,这相当于实现了等于65纳米工艺水平的SNM。因此可以说,这一技术履行了实现32纳米及以上工艺SRAM的承诺。 瑞萨已经在2007年6月12日于京都举行的2007超大规模集成电路技术专题研讨会(2007 Symposium on VLSI Technology)上宣布了这些结果。

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