中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997电子级水的技术指标应符合表中的规定。 级别/指标 EW-I EW-II 电阻率MΩ.cm（25℃） 18以上（95%时间）不低于17 15（95%时间）不低于13 硅≤µg/l 2 10 >1µM微粒数≤个/ml 0.1 5 细菌个数≤个/ml 0.01 0.1 铜≤µg/l 0.2 1 锌≤µg/l 0.2 1 镍≤µg/l 0.1 1 钠≤µg/l 0.5 2 钾≤µg/l 0.5 2 氯≤µg/l 1 1 硝酸根≤µg/l 1 1 磷酸根≤µg/l 1 1 硫酸根≤µg/l 1 1 总有机碳≤µg/l 20 100 电子级超纯水设备常用工艺(水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)1.预处理－反渗透－ 水箱－阳床－阴床－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对象2.预处理－一级反渗透－加药机（PH调节）－中间水箱－第二级反渗透（正电荷反渗膜）－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象3.预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化系统水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象4.预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象 电子级超纯水设备应用场合： 1.GMP纯化水半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；2.超纯材料和超纯化学试剂；3.实验室和中试车间；4.汽车、表面抛光处理；5.其他高科技精微产品。 本文关键词:电子级超纯水设备 EDI超纯水设备 工业电子用超纯水设备东莞市杰邦水处理有限公司
